
2026-07-24
Танталовые распыляемые мишени являются ключевым сырьевым материалом в процессе магнетронного распыления (PVD). Благодаря высокой температуре плавления, превосходной химической стойкости и отличной барьерной способности против диффузии, они стали незаменимым высокотехнологичным расходным материалом в полупроводниковой промышленности, оптическом нанесении покрытий, производстве медицинских изделий и дисплейной индустрии.
Компания Baoji Aulister, расположенная в Баоцзи — базовом центре цветной металлургии Китая, опирается на полную производственную цепочку тугоплавких металлов в регионе. Мы специализируемся на разработке, ковке, прокатке и прецизионной механической обработке высокочистых танталовых мишеней, предлагая глобальным заказчикам стабильные и надёжные индивидуальные решения.
Наши танталовые мишени изготавливаются из сырья высокой чистоты и проходят полный цикл обработки: вакуумную плавку, многопроходную ковку, прецизионную прокатку и контролируемый отжиг. Это гарантирует высокую плотность, равномерную мелкозернистую структуру и низкое содержание кислородных примесей. Продукция включает круглые, прямоугольные плоские и кольцевые мишени. Мы также предоставляем сопутствующие услуги: пайка на опорную пластину, высокоточная механическая обработка, зеркальное полирование. Размеры, допуски и качество поверхности могут быть изготовлены по чертежам заказчика. Оптимальная внутренняя микроструктура обеспечивает стабильную скорость распыления, равномерную толщину плёнки, снижение количества дефектов и значительное повышение выхода годной продукции при нанесении покрытий.
В полупроводниковой отрасли танталовые мишени применяются главным образом для формирования барьерного слоя в медных соединениях чипов, создавая плёнку Ta/TaN, которая предотвращает диффузию меди и обеспечивает долгосрочную стабильность работы интегральных схем. Они широко используются в производстве запоминающих чипов, силовых приборов и передовых логических микросхем. В оптической промышленности с помощью распыления тантала формируются оптические плёнки из оксида тантала для линз, светофильтров и оптических элементов AR/VR. Кроме того, тантал обладает отличной биосовместимостью, поэтому соответствующие покрытия применяются также для нанесения на имплантируемые медицинские изделия. Помимо перечисленных областей, высокочистые танталовые мишени находят широкое применение в производстве плоских дисплеев, сенсоров и декоративных покрытий.
Являясь предприятием полного цикла — от производства до реализации, мы также поставляем изделия из титана, тантала, ниобия, молибдена и никеля, а также различные виды прецизионно обработанных листов и мишеней, обладая зрелыми возможностями серийных поставок. В отличие от обычных трейдеров, наша фабрика напрямую контролирует каждый этап производственного процесса, поддерживая как мелкосерийное пробное производство, так и крупнообъёмные заказы, гибко адаптируясь к потребностям клиентов в разработке и серийном выпуске. Мы строго соблюдаем международные стандарты на материалы и предоставляем сертификаты качества и отчёты по чистоте, осуществляя полный контроль на всех стадиях — от производства до проверки и отгрузки.
На фоне усиливающейся конкуренции в мировой индустрии нанесения покрытий, стабильные и высококачественные поставки мишеней напрямую определяют эффективность производственных линий. Компания Baoji Aulister неуклонно придерживается жёсткого контроля качества и предлагает зарубежным клиентам выгодную альтернативу дорогостоящим импортным мишеням по разумным заводским ценам. Независимо от того, нужны ли вам стандартные мишени со склада или индивидуальная продукция с особыми размерами и чистотой, присылайте ваши чертежи, технические параметры и коммерческие запросы. Наша техническая команда оперативно оценит возможность реализации, своевременно предоставит котировки образцов, сроки поставки и полную техническую поддержку. Мы стремимся к долгосрочному и стабильному сотрудничеству с предприятиями плёночных и полупроводниковых технологий по всему миру.
| Параметры | Стандартные типоразмеры | Индивидуальные спецификации для высококачественных полупроводников | Описание |
| Марка материала | R05200, R05400 (чистый тантал Ta1/Ta2) | R05400 | Соответствует стандарту ASTM B708 |
| Чистота | 99,95 % (3N5), 99,99 % (4N) | 99,995 % (4N5) ~ 99,999 % (5N) | Чем выше чистота, тем меньше примесей в пленке |
| Теоретическая плотность | 16,6 г/см³, относительная плотность ≥99,5 % | Относительная плотность ≥ 99,8 % | Исключает образование внутренних пор, снижает образование дуги |
| Средний размер зерен | 50–100 мкм | Мелкозернистая структура ≤ 50 мкм | Чем более однородна кристаллическая структура, тем стабильнее скорость распыления |
| Кристаллическая текстура | Преимущественно {111}, с возможностью регулировки {100}/{110} | Ориентация кристаллической структуры регулируется по требованию | Непосредственно влияет на скорость осаждения и равномерность толщины пленки |
| Шероховатость поверхности | Ra ≤ 0,8 мкм | Ra ≤ 0,4 мкм | Зеркальная полировка снижает образование частиц |
| Допуски на размеры | Диаметр / длина и ширина ±0,1–0,2 мм; толщина ±0,05 мм | ±0,02 ~ 0,05 мм | Возможность сужения допусков в соответствии с чертежами заказчика |
| Дополнительная задняя панель | Оксидная подложка из бескислородной меди | Оксигенобедная медная подложка | Поддерживает индиевую сварку, эластичное склеивание и механическую сборку |
| Стандартные формы | Круглые мишени, прямоугольные плоские мишени, кольцевые мишени | Микроформы, вращающиеся мишени, мишени со ступенчатой структурой | Полная поддержка изготовления по индивидуальным чертежам |