Мишени для распыления из тантала высокой чистоты | Передовой завод в Баоцзи, провинция Шэньси

 Мишени для распыления из тантала высокой чистоты | Передовой завод в Баоцзи, провинция Шэньси 

2026-07-24

Танталовые распыляемые мишени являются ключевым сырьевым материалом в процессе магнетронного распыления (PVD). Благодаря высокой температуре плавления, превосходной химической стойкости и отличной барьерной способности против диффузии, они стали незаменимым высокотехнологичным расходным материалом в полупроводниковой промышленности, оптическом нанесении покрытий, производстве медицинских изделий и дисплейной индустрии.

Компания Baoji Aulister, расположенная в Баоцзи — базовом центре цветной металлургии Китая, опирается на полную производственную цепочку тугоплавких металлов в регионе. Мы специализируемся на разработке, ковке, прокатке и прецизионной механической обработке высокочистых танталовых мишеней, предлагая глобальным заказчикам стабильные и надёжные индивидуальные решения.

Наши танталовые мишени изготавливаются из сырья высокой чистоты и проходят полный цикл обработки: вакуумную плавку, многопроходную ковку, прецизионную прокатку и контролируемый отжиг. Это гарантирует высокую плотность, равномерную мелкозернистую структуру и низкое содержание кислородных примесей. Продукция включает круглые, прямоугольные плоские и кольцевые мишени. Мы также предоставляем сопутствующие услуги: пайка на опорную пластину, высокоточная механическая обработка, зеркальное полирование. Размеры, допуски и качество поверхности могут быть изготовлены по чертежам заказчика. Оптимальная внутренняя микроструктура обеспечивает стабильную скорость распыления, равномерную толщину плёнки, снижение количества дефектов и значительное повышение выхода годной продукции при нанесении покрытий.

В полупроводниковой отрасли танталовые мишени применяются главным образом для формирования барьерного слоя в медных соединениях чипов, создавая плёнку Ta/TaN, которая предотвращает диффузию меди и обеспечивает долгосрочную стабильность работы интегральных схем. Они широко используются в производстве запоминающих чипов, силовых приборов и передовых логических микросхем. В оптической промышленности с помощью распыления тантала формируются оптические плёнки из оксида тантала для линз, светофильтров и оптических элементов AR/VR. Кроме того, тантал обладает отличной биосовместимостью, поэтому соответствующие покрытия применяются также для нанесения на имплантируемые медицинские изделия. Помимо перечисленных областей, высокочистые танталовые мишени находят широкое применение в производстве плоских дисплеев, сенсоров и декоративных покрытий.

Являясь предприятием полного цикла — от производства до реализации, мы также поставляем изделия из титана, тантала, ниобия, молибдена и никеля, а также различные виды прецизионно обработанных листов и мишеней, обладая зрелыми возможностями серийных поставок. В отличие от обычных трейдеров, наша фабрика напрямую контролирует каждый этап производственного процесса, поддерживая как мелкосерийное пробное производство, так и крупнообъёмные заказы, гибко адаптируясь к потребностям клиентов в разработке и серийном выпуске. Мы строго соблюдаем международные стандарты на материалы и предоставляем сертификаты качества и отчёты по чистоте, осуществляя полный контроль на всех стадиях — от производства до проверки и отгрузки.

На фоне усиливающейся конкуренции в мировой индустрии нанесения покрытий, стабильные и высококачественные поставки мишеней напрямую определяют эффективность производственных линий. Компания Baoji Aulister неуклонно придерживается жёсткого контроля качества и предлагает зарубежным клиентам выгодную альтернативу дорогостоящим импортным мишеням по разумным заводским ценам. Независимо от того, нужны ли вам стандартные мишени со склада или индивидуальная продукция с особыми размерами и чистотой, присылайте ваши чертежи, технические параметры и коммерческие запросы. Наша техническая команда оперативно оценит возможность реализации, своевременно предоставит котировки образцов, сроки поставки и полную техническую поддержку. Мы стремимся к долгосрочному и стабильному сотрудничеству с предприятиями плёночных и полупроводниковых технологий по всему миру.

Параметры Стандартные типоразмеры Индивидуальные спецификации для высококачественных полупроводников Описание
Марка материала R05200, R05400 (чистый тантал Ta1/Ta2) R05400 Соответствует стандарту ASTM B708
Чистота 99,95 % (3N5), 99,99 % (4N) 99,995 % (4N5) ~ 99,999 % (5N) Чем выше чистота, тем меньше примесей в пленке
Теоретическая плотность 16,6 г/см³, относительная плотность ≥99,5 % Относительная плотность ≥ 99,8 % Исключает образование внутренних пор, снижает образование дуги
Средний размер зерен 50–100 мкм Мелкозернистая структура ≤ 50 мкм Чем более однородна кристаллическая структура, тем стабильнее скорость распыления
Кристаллическая текстура Преимущественно {111}, с возможностью регулировки {100}/{110} Ориентация кристаллической структуры регулируется по требованию Непосредственно влияет на скорость осаждения и равномерность толщины пленки
Шероховатость поверхности Ra ≤ 0,8 мкм Ra ≤ 0,4 мкм Зеркальная полировка снижает образование частиц
Допуски на размеры Диаметр / длина и ширина ±0,1–0,2 мм; толщина ±0,05 мм ±0,02 ~ 0,05 мм Возможность сужения допусков в соответствии с чертежами заказчика
Дополнительная задняя панель Оксидная подложка из бескислородной меди Оксигенобедная медная подложка Поддерживает индиевую сварку, эластичное склеивание и механическую сборку
Стандартные формы Круглые мишени, прямоугольные плоские мишени, кольцевые мишени Микроформы, вращающиеся мишени, мишени со ступенчатой структурой Полная поддержка изготовления по индивидуальным чертежам
Мишени для распыления из тантала высокой чистоты Передовой завод в Баоцзи, провинция Шэньси (1)
Мишени для распыления из тантала высокой чистоты Передовой завод в Баоцзи, провинция Шэньси (2)
Последние новости
Главная
Продукция
О Нас
Контакты

Пожалуйста, оставьте нам сообщение